因为三坐标测量仪在对空气进行压缩的时候，也会将空气里面的一些比较小的水分子和油分子进行压缩成水或者是油，这样的话，三坐标测量仪自己在进行工作的时候也是会需要一定的润滑油对相关的机构进行润滑，当然也会使得部分的润滑油进入到压缩空气里面。如果在进行工作的时候，三坐标测量仪上附着着水或者是油的话，那么这个时候是会导致导轨的直线度发生一定的变化。如果三坐标测量仪不工作了，那么这个时候，管道中的油滴就有可能是会被堵塞，这个时候气浮块也不能够正常的进行起伏，气浮块与导轨会很容易产生摩擦，也会损坏三坐标测量仪，严重也会使得器官出现老化等现象。 

三坐标测量仪是其最主要的基准，三坐标进行改造的时候，主要就是需要对其进行相应的保养，这样才能够保证其正常的进行工作。三坐标测量仪在进行使用的时候，跟其他的一些测针、测头使用肯定是不一样的。

每天进行使用三坐标测量仪之前一定要做好相应的检查，主要是管道和过滤器，一般在三个月的时候，就需要对三坐标测量仪进行清洗，如果空气质量比较差的地方，这个时候，三坐标测量仪的滤芯在过滤油和谁的时候也会很容易被堵塞，要是时间比较长的话，是会导致三坐标测量仪工作气压降低的，会影响其正常的工作，所以滤芯一定的清洗干净才行。还有就是需要每天都要擦拭油污和灰尘，这样的话，才能够很好的保证三坐标测量仪气浮导轨进行正常工作。